专业加工用于恶劣环境、复杂工况下的高性能聚合物零件
耐高温性能
PEEK吸盘可在260℃甚至300℃的高温环境下长期使用，保持高强度低线胀系数和稳定的物理性能，适用于半导体制造的高温工艺环节。
防静电保护
采用改性PEEK材料，表面电阻率稳定在106-1092，有效防止静电放电。对晶圆等敏感元件的损伤，保障生产安全性。
纯度高无污染
材料不含卤族元素，纯度高且释气性低，夹持过程中不会产生颗粒或化学残留，确保晶圆表面的洁净度和完整性。
耐磨性与尺寸稳定性
优异的耐滑动磨损和微动磨损性能，结合低吸湿性，可长期保持吸盘形状精度，避免晶圆划痕或移位。
耐化学腐蚀性
能抵抗半导体蚀刻、清洗等工艺中的强酸、强碱及等离子体腐蚀，延长吸盘使用寿命。
