专业加工用于恶劣环境、复杂工况下的高性能聚合物零件
耐高温性能
PEEK连续使用温度可达260°C,短期耐受温度超过300℃。在高温下仍能保持稳定的机械性能,避免因热变形影响操作
耐化学腐蚀性
耐受半导体工艺中常见酸碱、溶剂等腐蚀性物质,延长工具使用寿命降低维护成。在CMP等严苛环节中,相比PPS等材料寿命更长。
纯度高与洁净度
无卤素添加,避免污染半导体晶圆等高敏感材料。低释气性和低吸湿性,减少粉尘与气体释放,满足洁净度的要求。
防静电与导电性
采用改性PEEK材料,表面电阻率稳定在106-109Ω,有效防止静电放电,对晶圆造成破坏。
灵活的使用方式
PEEK晶片夹不仅用于晶圆夹持,还可延伸至真空吸笔、支撑线、选镀环等半导体工具,满足搬运、存储、测试等全流程需求。