专业加工用于恶劣环境、复杂工况下的高性能聚合物零件
耐高温性能
在260℃高温环境下仍能保持尺寸稳定性和机械强度，满足光刻、高温清洗等工艺对轴承性能的要求。
耐化学腐蚀性
可抵抗半导体制造中使用的酸、碱及有机溶剂侵蚀，延长轴承在化学清洗、CMP研磨等工艺环节的使用寿命。
无油自润滑
无需使用润滑油即可实现低摩擦运转，既避免了润滑剂污染风险，又降低了设备维护频率。
耐磨性与颗粒控制
PEEK材料具备超强耐磨性，可减少运转过程中摩擦产生的微粒，避免晶圆污染风险。其表面光滑特性进一步降低了晶片表面划痕或残留物残留的可能性。
